扫描电子显微镜

发布者:阮勤超发布时间:2021-03-22浏览次数:214

  

  

日本日立公司生产的S-3400N扫描电子显微镜带有VP模式(Variable Pressure),通过VP模式可直接观测不导电样品,独有的四偏压电子枪,配合大锥角物镜保证了低加速电压下的高分辨成像能力。该设备可用于材料显微组织观察、断口试样观察、材料失效分析等,且可利用EDAX能谱仪进行成分定性、半定量分析,可广泛地应用于材料、化工、生物、医学等领域。

  

二次电子像分辨率:  3nm at 30kV(高真空模式)
                    10nm at 3kV(高真空模式)
背散射电子像分辨率:4nm at 30kV(低真空模式)
放大倍率:5~300,000×
加速电压:0.3~30kV
电位移:  ±50μm(工作距离为10mm时)
探测器:  二次电子探头
          5分割背散射探头
最大样品尺寸:直径200mm
    可变压力范围:  6-270Pa(低真空模式)