ST-103A探针台

设备地点：材料工程学院中心实验室3213室

T-103A探针台是我国最早生产IC芯片测试设备的四十五所的经典产品，探针可以三维运动。本设备与测试仪连接后，主要用于各种半导体器件芯片的电参数测试（例如C-V,I-V曲线），由于本设备为手动设备特别适用于科研、新品试制及小批量生产的检验测试。

X、Y向工作行程：170mm×170mm ；工作台可测晶片直径：2″~6″ ；Z向抬升距离：2mm ；θ向旋转：±45o可调 ；晶片定位方式：真空吸附 ；标准配置显微镜放大倍数：20~90X连续可调；测试方式：三维可调探头，最多可布可调探头数8 支；真空源0.08MPa

可以满足教学需求外还能适当开发对外技术服务，通过对外服务积累实战经验，提高我们的教学和科研水平。